私も同じような状況になったことがあります。
挨拶に関して、今からでもしたいと思っているならしましょう！
できなかった過去を悔いても仕方ありません！
何かその方の素敵だなーと思った作品などに反応する形で、遅くなりましたがフォローありがとうございますと添えましょう。
私のフォロワーさんにも繋がる方を厳選されている方がおり、この方法で私と仲良くなってくださいました。

そして難しい距離感についてですが、これについては相手の人柄にもよるので難しいです。
トピ主さんに対して近寄り難いと思う方もいらっしゃいますし、シンパシーを感じる方もいる。
リプの頻度も人によって変わってきますしね。
やりとりをしながら、その人との連絡の頻度を調整していきながら、お互いの程よい距離感を掴んでいくしか無いと思います。

ご自分に気持ちやタイミングがあるように、お相手にもありますしね。
一概に言えることでも、トピ主さんの行動を一元化することで改善される問題でも無いと思いますよ。

関係性が濃くなってしまうのを危惧されておられる気持ちよく分かります…作風と性格の合致は別なので様子見したい心もありますよね……。
回答内容はID:BzWEHw41さんに完全同意なので、別視点から。
私は比較的相互さんに話しかけるタイプですが、相手の傾向を見ます。そのためフォロバをした際向こうからご挨拶くださったら「今後こちらから感想とかも言いやすそうな方だな」と感じます。空リプやり取りもたまにしますが、最初から話してくれたお相手が多いですね。
最初の印象って結構大きいですし、雰囲気をつかむきっかけにもなるので、最近はある程度優し気な方だったらこちらから「フォロー（フォロバ）ありがとうございます」と言うようにしています。

ちなみにですが、時間がたってからでも何かのきっかけで挨拶いただけた場合嬉しいです。嫌な気持ちにはなりません。